Refurbishing polovodičových pecí

SVCS, partner firmy SofCon® s.r.o., se specializuje na výrobu a refurbishing horizontálních polovodičových pecí. U obou aplikací - atmosférické i LPCDV - jsou použita osvědčená topná tělesa, která pracují v rozsahu teplot od 200°C do 1350°C. Horizontální pece je možné použít pro různé průměry podkladových křemíkových desek vhodných pro standardní i pro špičková zařízení.

řídicí systém SVcon vyráběný firmou SofCon® s.r.o. je výsledkem mnohaleté spolupráce partnerů působících v oblastech polovodičového průmyslu a automatizační techniky. Zmíněný systém splňuje nejen funkční požadavky, ale také vysoké požadavky na bezpečnost.

Technologové ve spolupráci s operátory navrhli grafické uživatelské prostředí, které činí ze systému SVcon profesionální a snadno obsluhovatelný řídicí systém polovodičových pecí. Nedávno vyvinutá univerzální deska pro řízení průtoku plynu, ruční servisní panel spolu se zpracováním dat a výukovým sofwarem tvoří dohromady celistvý integrální systém.

Více informací o firmě SVCS najdete na adrese: http://www.svcs.cz